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長沙鑫康新材料有限公司 靶材綁定及背板加工
靶材綁定及背板加工

產品優勢

我們可以根據不同的機臺要求加工不同規格的靶材背板,材質包括銅、鈦、鉬、鋁等,同時也可以提供靶材與背板的綁定服務。

用途

我司生產各種規格尺寸的背板以用于靶材與背板的綁定結合,綁定的材料包括銦、銀錫、導電膠等。

產品列表


靶材背板的作用:
在濺射過程中可支撐脆性靶材, 如陶瓷靶和軟金屬材料;在濺射過程中起到熱傳遞的作用。


靶材背板


背板材料的選擇有什么要求:
背板材料和靶材的熱傳遞性;導電性;抗冷卻水壓的機械性能及熱循環效果;重復利用性。

靶材背板選擇要求


我司可提供以下靶材背板材料:
無氧銅靶材背板 - 無氧銅背板為使用最廣發的背板,其具有良好的導熱性和導電性,且易于加工。正常情況下銅背板可重復利用20次以上。


鉬靶材背板 - 鉬背板適用于高溫綁定,然而銅背板在高溫下較易氧化或者變形。當銅背板與靶材的熱膨脹系數不匹配時,鉬背板可與一些熱膨脹系數小的靶材匹配。


鋁靶材背板 - 鋁背板具有同樣的導熱性,并可與靶材的熱膨脹系數匹配,且適用于擴散焊綁定。

不銹鋼靶材背板 - 不銹鋼背板通常適用于旋轉靶的背管,成本較低且可回收利用。

此外,我司也可生產銅鋅合金背板和銅鉻合金背板,若有任何需求,歡迎前來咨詢。


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