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長沙鑫康新材料有限公司 金屬靶材 鉬(Mo)靶材
鉬(Mo)靶材
鉬(Mo)靶材
產品類別
高純金屬靶材
產品名稱
鉬(Mo)靶材
元素符號
Mo
純度
3N5
形狀
平面靶 旋轉靶 異型定制
鉬(Mo)靶材概述

        鉬靶材,鉬為銀白色金屬,鉬原子半徑為0.14nm,原子體積為235.5px/mol,配位數為8,晶體為Az型體心立方晶系,空間群為Oh(lm3m),至今還沒發現它有異構轉變.常溫下鉬的晶格參數在0.31467~0.31475nm之間,隨雜質含量而變化。鉬熔點很高,在自然界單質中名列第六,被稱作難熔金屬,見表2。鉬的密度為10.23g/cm,約為鎢的一半(鎢密度19.36g/cm)。鉬的熱膨脹系數很低,20~100℃時為4.9×10/℃;鉬的熱傳導率較高,為142.35w/(m·k) 。鉬電阻率較低:0℃時為5.17×-10Ω·cm;800℃時為24.6×-10Ω·cm;2400℃時為72×-10Ω·cm。鉬屬順磁體,99.99%純度的鉬在25℃時比磁化系數為0.93×10cm/g。鉬的比熱在25℃時為242. 8J/(kg·k)。鉬的硬度較大,摩氏硬度為5~5.5。鉬在沸點的蒸發熱為594kJ/mol;熔化熱為27.6 ±2.9kJ/mol;在25℃時的升華熱為659kJ/mol。鉬是發熱體、隔熱屏,它具有導電導熱性能優越、熱膨脹系數小,抗腐蝕性強等優點,主要用于電真空器件、高溫爐內發熱體、隔熱板、料舟等,用于制造鉬舟、電力半導體用鉬元片和制作電真空光源零件等。下圖是鉬濺射靶材的兩種典型的顯微金相檢測圖片,平均粒徑<100um。


鉬靶材.png高純鉬靶材.png

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      我們生產高純度的濺射靶材,它最重要的好處是在物理氣相沉積的過程中,能獲得具有優異的導電率和顆粒最小化的薄膜。以下表格是3N5高純鉬濺射靶的成分分析證明書。采用的分析方法:1,使用ICP-OES對金屬元素進行分析;2,使用LECO進行氣體元素分析。


鉬靶材參數.jpg


銀(Ag)靶材
鈮(Nb)靶材
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