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長沙鑫康新材料有限公司 金屬靶材 釕(Ru)靶材
釕(Ru)靶材
釕(Ru)靶材
產品類別
貴金屬靶材
產品名稱
釕(Ru)靶材
元素符號
Ru
純度
3N5
形狀
平面靶 異型定制
釕(Ru)靶材概述

釕濺射靶材


釕濺射靶材是由高純度釕金屬組成的灰色靶。熔點2334° C  ,密度12.37,熱膨脹 6.4 μm /(m·K)。釕濺射靶材有各種形式,純度,尺寸和價格。我們能夠根據您提供給我們的任何規格/圖紙提供定制的濺射材料。

釕靶材制備工藝流程

備料 - 燒結 - 退火 - 軋制 - 沖壓 - 金相檢測 - 機加工 - 尺寸檢測 - 清洗  - 檢驗 - 包裝


釕靶材制備方法
將粒度≤325目的釕粉冷壓成型,冷壓壓力為250~350MPa,得到釕坯;將所述釕坯進行抽真空至0.008~0.12Pa后以10~20℃/min升溫至790~820℃,保溫30~50min后,再以5~10℃/min升溫至第一溫度加壓,加壓壓力為50~70MPa;繼續升溫至第二溫度,保溫120~180min;第一溫度為1000~1200℃,第二溫度為1200~1350℃;最后以5~8℃/min降溫至1000~1100℃,保溫55~65min,得到釕濺射靶材。


釕靶材產品優勢
耐化學腐蝕、耐摔性、超耐磨、耐高溫、防靜電、防火性


釕濺射靶材的應用
釕濺射靶材用于在基板上生產純釕薄膜,其在微芯片中顯示出令人鼓舞的性能。


釕的其他應用包括:
在電子工業中用于制造電觸點和片式電阻器
用作化學工業中電化學電池中氯生產的陽極。
用作鉑和鈀的硬化劑和多功能催化劑,用于從煉油廠和其他工業過程中去除H2S。











銠(Rh)靶材
銥(Ir)靶材
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