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長沙鑫康新材料有限公司 合金靶材 鎳鎢(NiW)合金靶材
鎳鎢(NiW)合金靶材
鎳鎢(NiW)合金靶材
產品類別
鎳合金靶材
產品名稱
鎳鎢(NiW)合金靶材
元素符號
Ni/W
純度
3N、3N5
形狀
平面靶 異型定制
鎳鎢(Ni/W)合金靶材概述

鎳鎢合金靶材


鎳鎢靶材是一種比較典型的合金靶材,鎳鎢合金具有低電阻系數,良好的熱穩定性和抗氧化性;同時,加工性能好,韌性高的特點,因此以鎢、鎳混合粉末作為濺射靶材的原料,由這兩種原料制成的鎳鎢管靶已成為半導體領域用量較大的管靶之一。



鎳鎢合金靶材制備方法
制備靶材提供鎢和鎳混合粉末(質量比為9.95:1至10.05:1),對所述鎢和鎳混合粉末采用冷等靜壓工藝,對鎢、鎳混合粉末和不銹鋼空心管進行首次致密化和預成型,形成半致密的鎢、鎳混合粉末和不銹鋼初始坯料,使后續的熱等靜壓工藝對鎢、鎳混合粉末和不銹鋼初始坯料可以進行更好的致密,以較好的對靶材的部分表面進行噴砂處理,同時不影響到靶材的其他不需要噴砂的部分,獲得鎳鎢合金靶材;


鎳鎢合金靶材應用領域

W-Ni硬質合金具有高強度、高硬度、優良的耐磨性、耐熱性以及良好的抗腐蝕性等特點,因此廣泛應用于高壓、高轉速、高溫、腐蝕性介質等工作環境。







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