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長沙鑫康新材料有限公司 合金靶材 鎳鉑(NiPt)合金靶材
鎳鉑(NiPt)合金靶材
鎳鉑(NiPt)合金靶材
產品類別
鎳合金靶材
產品名稱
鎳鉑(NiPt)合金靶材
元素符號
Ni+Pt
純度
3N、3N5
形狀
平面靶 異型定制
鎳鉑(Ni/Pt)合金靶材概述

鎳鉑合金靶材


鎳鉑合金靶材是一種銀灰色金屬靶材,熔點1400-1650°C;密度18.63克/厘米3;電阻率 29.8 μΩ·cm(20°C)。

鎳鉑合金靶材 制備方法
用鎳和鉑作為原料。原料在坩堝中進行高溫熔煉成鎳鉑合金錠;采用真空電子束將鎳鉑合金錠熔煉成高純鎳鉑合金錠;對高純鎳鉑合金錠進行徑向熱鍛和退火處理;對高純鎳鉑合金錠進行縱向墩粗和退火處理;對高純鎳鉑合金錠進行熱軋,冷軋和再結晶退火處理,形成鎳鉑合金靶坯;對鎳鉑合金靶坯進行機械加工,形成鎳鉑合金靶材。通過高溫熔煉,真空電子束熔煉,徑向熱鍛和退火處理,縱向墩粗和退火處理,熱軋冷軋和再結晶退火處理等步驟,獲得了成分均勻,純度高,晶粒細小,氧含量低的鎳鉑合金靶材。這樣的靶材利于獲得厚度均勻,顆粒少的高質量的薄膜.

鎳鉑合金靶材應用領域  
鎳鉑合金靶材廣泛應用于半導體工業。通過磁控濺射,鎳鉑合金靶材在硅器件表面沉積并反應生成鎳鉑硅化物薄膜,實現半導體接觸及互連。







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